真空控制系统

用途：用于实验腔体的真空度自动控制，实现测试过程中真空的程序定向控制。

控制范围：真空泵极限真空-100000pa

控制精度：<1000pa  ±1pa

                 >1000pa    0.1%

泄漏率：5*10^-9Pa.m³/S.He以下

控制速度：5min以内完成

程序步数：30步，随意设置。

真空计：英?？嫡婵占?0-50torr  0-1000

 真空控制系统

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